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臺式掃描電鏡的低真空應(yīng)用概述

更新時間:2021-03-15      點(diǎn)擊次數(shù):1126
   臺式掃描電鏡在觀察照射物體的細(xì)電子束掃描時,觀察的三維結(jié)構(gòu)的表面(形狀)。一般來說,用掃描電鏡是一個單向觀察圖像,使圖像是相同的圖像平面與單眼觀察。為了得到一個三維圖像,該方法是通過傾斜的載體,從不同的角度分別獲得同等的右眼和左眼觀察觀察靜止圖像(視差圖像)和合成,所以戴上紅藍(lán)眼鏡。但這種方法需要時間,也需要調(diào)整視差圖像,所以它不能實時觀察樣品的掃描電鏡圖像。
  這時發(fā)達(dá)的邊緣交換機(jī)照射試樣的電子束角和高速掃描技術(shù),成功實現(xiàn)了左右視差圖像瞬時訪問。具體做法使用電磁透鏡的會聚作用,使電子束傾斜。然而,連接器電子束傾斜伴隨像差會導(dǎo)致較低的分辨率。這一任務(wù)發(fā)展致力于發(fā)展電子光學(xué)系統(tǒng)和光束掃描控制技術(shù)以及使用的技術(shù)部分。
  臺式電鏡在失效分析中,除了金屬樣品外,還有很多非金屬樣品,這些樣品導(dǎo)電性很差。要分析這些非導(dǎo)電樣品,樣品的充電是不可避免的。由于電子束打到樣品上使樣品帶電,其產(chǎn)生的電場影響了二次電子的產(chǎn)生和接收,使圖像上呈現(xiàn)一片片亮的或暗的區(qū)域,無法進(jìn)行正常觀察。要對這些非導(dǎo)電樣品進(jìn)行分析,就必須排除樣品充電的影響。其方法之一就是將樣品上的電荷中和掉。
  臺式掃描電鏡所采取的措施是:
  使樣品室處于低真空狀態(tài),樣品表面所產(chǎn)生的二次電子與樣品室中的氣體分子相碰撞,使氣體電離,這些氣體離子附著于樣品表面,將樣品上所帶的電荷中和掉。使用專門的探測器,接收二次電子與氣體分子相碰撞時產(chǎn)生的光子,這些光子也就代表了二次電子信號,使成像不受樣品導(dǎo)電性的影響,在分析這些樣品時能夠得到理想的成像。
  臺式掃描電鏡對一些含水、含油的樣品,可以采用更低的真空度,使水分在該壓力、溫度下不至于揮發(fā),這樣便可觀察到真實的生物樣品形貌。

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