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SEM掃描電鏡在質(zhì)檢中的應(yīng)用概述

更新時(shí)間:2021-05-19      點(diǎn)擊次數(shù):1085
   目前主流的SEM掃描電鏡鏡筒是電子槍室和由6-8級(jí)成像透鏡以及觀察室等組成。陰極燈絲在燈絲加熱電流作用下發(fā)射電子束,該電子束在陽(yáng)極加速高壓的加速下向下高速運(yùn)動(dòng),經(jīng)過(guò)一聚光鏡和第二聚光鏡的會(huì)聚作用使電子束聚焦在樣品上,透過(guò)樣品的電子束再經(jīng)過(guò)物鏡、一中間鏡、第二中間鏡和投影鏡四級(jí)放大后在熒光屏上成像。電鏡總的放大倍數(shù)是這四級(jí)放大透鏡的放大倍數(shù)的乘積,因此透射電鏡有著更高的放大范圍(200×-1500000×)。
  SEM掃描電鏡的設(shè)計(jì)思想和工作原理早在1935年便已被提出來(lái)了。1942年,英國(guó)首先制成一臺(tái)實(shí)驗(yàn)室用的掃描電鏡,但由于成像的分辨率很差,照相時(shí)間太長(zhǎng),所以實(shí)用價(jià)值不大。經(jīng)過(guò)各國(guó)科學(xué)工作者的努力,尤其是隨著電子工業(yè)技術(shù)水平的不斷發(fā)展,到1956年開(kāi)始生產(chǎn)商品掃描電鏡。數(shù)十年來(lái),掃描電鏡已廣泛地應(yīng)用在生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、冶金學(xué)等學(xué)科的領(lǐng)域中,促進(jìn)了各有關(guān)學(xué)科的發(fā)展。
  掃描電鏡在質(zhì)檢工作中一直起著非常重要的作用,廣泛應(yīng)用于金屬材料、無(wú)機(jī)非金屬材料以及高分子材料的微觀形貌分析檢測(cè)等工作中。由干傳統(tǒng)的高真空掃描電鏡難干直接觀察檢測(cè)不導(dǎo)電樣品,而對(duì)非導(dǎo)電樣品進(jìn)行噴金成者噴碳處理后雖然可以用傳統(tǒng)的掃描電鏡進(jìn)行檢測(cè),但是這使得檢測(cè)過(guò)程費(fèi)時(shí)費(fèi)力,而且對(duì)于樣品的微觀形貌會(huì)造成影響和干擾,在用掃描電鏡的能譜儀配件進(jìn)行樣品的成分檢測(cè)時(shí)也會(huì)影響到檢測(cè)結(jié)果,對(duì)于含水樣品及不適合噴金處理的半導(dǎo)體樣品,傳統(tǒng)的掃描電鏡則不適合進(jìn)行檢測(cè)工作。因此,傳統(tǒng)的高真空掃描電鏡在質(zhì)檢工作中有很大的局限性。SEM掃描電鏡的發(fā)展極大的擴(kuò)展了掃描電鏡在質(zhì)檢中的應(yīng)用,而且極大的節(jié)省了樣品的處理時(shí)間與樣品的檢測(cè)時(shí)間,并且降低了檢測(cè)結(jié)果的各種干擾因素,使得檢測(cè)結(jié)果更準(zhǔn)確。

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