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鎢燈絲是電鏡非常重要的模塊之一

更新時(shí)間:2021-10-20      點(diǎn)擊次數(shù):1142
  鎢燈絲電鏡的低壓性能與與臺(tái)式電子顯微鏡不兼容的更多樣品*兼容。其低電壓性能非常有限,并且不能與大多數(shù)非導(dǎo)電樣品兼容。蔡司傳統(tǒng)的鎢絲掃描電子顯微鏡的加速電壓為0.2-30kV,電子束電流范圍為0.5pA-5uA。它的低電壓性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)臺(tái)式電子顯微鏡,并且具有低真空模式。它與導(dǎo)電樣品,非導(dǎo)電樣品和電子束*兼容。輻射敏感樣品,含水或除氣的樣品等。同時(shí),獲取樣品的表面信息(無(wú)論是表面成像還是能譜),可以為您顯示清晰樣品表面細(xì)節(jié)。
  燈絲是臺(tái)式掃描電鏡(SEM)重要的模塊之一。它的目的是提供穩(wěn)定的電子束。在掃描電鏡(SEM)中,不同的電子源產(chǎn)生的電子束亮度不同,電子源的壽命也不同。掃描電鏡中使用的一種電子源:熱電子源。熱電子源有兩種:鎢和六硼化鈰(CeB6)。
  什么是熱電子源?
  當(dāng)材料被加熱時(shí),電子被熱能激發(fā)。電子的熱能超過(guò)材料的逸出功時(shí),發(fā)射強(qiáng)度提升。陰極是由高熔點(diǎn)材料制成的,其逸出功相對(duì)較低,易發(fā)射電子。
  了解電子源的哪些特性是決定其性能的關(guān)鍵?
  1)燈絲的亮度
  亮度被定義為單位面積或單位體積電子束流量。在小束斑情況下,擁有的電流/電子越多,越能在高倍率下獲得高分辨率(高質(zhì)量)的圖像。縮小電子束的光斑尺寸以提高分辨率,但在某些時(shí)候,我們應(yīng)該優(yōu)先保障信噪比以獲得良好的圖像質(zhì)量。
  2)燈絲尺寸
  正如前面所提到的,較小的光斑尺寸有助于良好的圖像分辨率和獲得高質(zhì)量的圖像。鏡筒內(nèi)的電磁透鏡主要用來(lái)匯聚燈絲發(fā)射出來(lái)的電子束,以獲得較小的束斑尺寸??梢韵胂?,越小的燈尖尺寸,越小的放射源,就不用復(fù)雜的結(jié)構(gòu)來(lái)縮小束斑尺寸。
  3)燈絲溫度
  燈絲溫度下,熱離子源的工作溫度在1800到2800開(kāi)氏度之間。

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