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鎢燈絲電鏡的相關(guān)知識普及,你一定要知道

更新時間:2021-11-22      點擊次數(shù):1405
  鎢燈絲電鏡成像所用的物理信號是電子束轟擊固體樣品而激發(fā)產(chǎn)生的。具有一定能量的電子,當其入射固體樣品時,將與樣品內(nèi)原子核和核外電子發(fā)生彈性和非單生散射過程,激發(fā)固體樣品產(chǎn)生多種物理信號,如二次電子、背散射電子、吸收電子、X射線、俄歇電子等。
  SEM中的三種主要信號:
  背散射電子:入射電子在樣品中經(jīng)散射后再從上表面射出來的電子。反映樣品表面不同取向、不同平均原子量的區(qū)域差別。
  二次電子:由樣品中原子外殼層釋放出來,在掃描電子顯微術(shù)中反映樣品上表面的形貌特征。
  x射線:入射電子在樣品原子激發(fā)內(nèi)層電子后外層電子躍遷至內(nèi)層時發(fā)出的光子。
  其他信號:
  俄歇電子:入射電子在樣品原子激發(fā)內(nèi)層電子后外層電子躍遷至內(nèi)層時,多余能量轉(zhuǎn)移給外層電子,使外層電子掙脫原子核的束縛,成為俄歇電子。
  透射電子:電子穿透樣品的部分。這些電子攜帶著被樣品吸收、衍射的信息,用于透射電鏡的明場像和透射掃描電鏡的掃描圖像,以揭示樣品內(nèi)部微觀結(jié)構(gòu)的形貌特征。
  鎢燈絲電鏡的優(yōu)點:
  ·高的分辨率。由于超高真空技術(shù)的發(fā)展,場發(fā)射電子槍的應用得到普及,現(xiàn)代先進的掃描電鏡的分辨率已經(jīng)達到1納米左右。
  ·有較高的放大倍數(shù),20-20萬倍之間連續(xù)可調(diào)。
  ·有很大的景深,視野大,成像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結(jié)構(gòu)。
  ·試樣制備簡單。
  ·可直接觀察大塊試樣。
  ·適用于固體材料樣品表面和界面分析。
  ·適合于觀察比較粗糙的表面:材料斷口和顯微組織三維形態(tài)。

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