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使用臺(tái)式電鏡SEM的基本步驟

更新時(shí)間:2023-11-03      點(diǎn)擊次數(shù):605
  現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展使得我們對(duì)微觀世界有了更深入的認(rèn)識(shí)。在諸多現(xiàn)代科學(xué)儀器中,臺(tái)式電鏡SEM(Scanning Electron Microscope)無(wú)疑是一種非常重要的儀器。它以其出色的分辨率和廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域受到了廣泛的關(guān)注和應(yīng)用。
 
  電子束的發(fā)射和聚焦:SEM使用熱陰極電子槍產(chǎn)生電子束,并通過磁場(chǎng)的引導(dǎo)將電子束聚焦到樣品表面。聚焦后的電子束精細(xì)、高能量,能夠在樣品表面產(chǎn)生豐富的信號(hào)。
 
  信號(hào)的收集和檢測(cè):SEM通過電子和樣品之間的相互作用產(chǎn)生多種信號(hào),主要包括二次電子、反射電子、X射線等。這些信號(hào)經(jīng)過收集和檢測(cè)后,通過電子光學(xué)系統(tǒng)轉(zhuǎn)化為圖像。
 
  圖像的顯示和分析:SEM的圖像顯示方式有兩種,一種是實(shí)時(shí)觀察,另一種是圖像捕獲和保存。圖像的分析可以通過直接觀察,也可以使用計(jì)算機(jī)進(jìn)行圖像處理和分析。
 
  使用臺(tái)式電鏡SEM的基本步驟如下:
 
  1.準(zhǔn)備樣品:選擇需要觀察的樣品,并將其固定在樣品支架上。樣品應(yīng)該具有較好的導(dǎo)電性能,在必要時(shí)可以進(jìn)行鍍金等導(dǎo)電處理。
 
  2.真空處理:將樣品支架放入電子槍的樣品艙內(nèi),并通過真空泵將空氣抽出,以確保在觀察過程中不會(huì)有氣體干擾。
 
  3.配置參數(shù):根據(jù)樣品的特點(diǎn)和觀察需求,設(shè)置合適的加速電壓、放大倍數(shù)、工作距離等參數(shù)。一般來(lái)說,加速電壓越高,分辨率越高,但也容易導(dǎo)致樣品受到較強(qiáng)的電子束輻射。
 
  4.對(duì)焦:通過調(diào)節(jié)物鏡和樣品之間的距離,使得電子束能夠在樣品表面形成清晰的像。
 
  5.觀察和拍攝:將樣品移動(dòng)到觀察區(qū)域,通過顯微鏡目鏡觀察樣品表面的細(xì)節(jié),并使用CCD相機(jī)等設(shè)備拍攝圖像。
 
  6.樣品移動(dòng)和調(diào)整:如果需要觀察樣品的其他區(qū)域或者調(diào)整焦距等參數(shù),可以通過微動(dòng)裝置和控制器進(jìn)行樣品移動(dòng)和調(diào)整。
 
  7.結(jié)束操作:觀察完成后,關(guān)閉加速電壓,排氣并恢復(fù)到大氣壓。注意將樣品取出,并關(guān)閉。
臺(tái)式電鏡SEM

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